一.序
??LCD顯示屏之用途以電腦、手提電話以至在電視上的需要也正在急速的增長。
各LCD顯示屏廠商為增加產(chǎn)量簡化生產(chǎn)工序、減低成本等,正在不斷地努力,在a-siTFT之顯示屏中,為增加產(chǎn)量特別把母玻璃尺寸增大之事宜作出測試。
??示圖1 母玻璃尺寸在2001年第5期時(shí)(1200mm*1200mm級(jí))、2002~2003年時(shí)第5+期(1100mm*1250mm級(jí))及6期(1250mm*1650mm級(jí))等尺寸的生產(chǎn)予預(yù)測速度。
圖1 母玻璃尺寸
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母玻璃尺寸之推移
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??HC-4意像圖 |
??此論文、目的是介紹在開發(fā)過程中,研究出對(duì)大型LCD基板主要之洗凈技術(shù)成果。
二.清洗SEAL
??對(duì)于清洗玻璃基板時(shí),主要清洗分別以微粒子污染、有機(jī)物、金屬物去微粒子的SEAL,與有關(guān)尼龍毛刷加以說明。
??1)隨著玻璃基板之大型化,以刷輥清洗方式進(jìn)行時(shí),接觸面增大時(shí)磨擦力也隨之增加的情況下,運(yùn)送時(shí)出現(xiàn)有不安定及洗凈效果不均等情況。
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??2)按此問題計(jì)算,刷毛之直徑從本來的0.07mm改為0.05mm。增加植毛密度(3倍)后刷毛的測試參數(shù)如下圖2:
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圖2 刷毛之按著力量及摩擦力
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??接著力增加時(shí),刷毛直徑0.07玻璃基板表面之摩擦力比例引對(duì)地增加。當(dāng)刷毛直徑0.05mm時(shí)所產(chǎn)生之摩擦力一定會(huì)比前者少。
??在玻璃基板運(yùn)送時(shí)之影響也有一定之改善。
??以2種不同直徑毛刷之洗凈評(píng)價(jià)結(jié)果如下圖3。而毛刷直徑0.07mm的洗凈性能與毛刷之滾動(dòng)數(shù)有相對(duì)關(guān)系,0.05mm毛刷是以較闊范圍的滾動(dòng),使它有洗凈的安全性。這個(gè)也與植毛之密度高的效果下有直接關(guān)系。
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圖3 殘留粒子的評(píng)價(jià)
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